组成机构:

UV灯构造;带托盘的晶片工作台;曝光机配CCD镜头的显微镜;监视器;掩膜夹具;UV灯透镜;UV灯镜片;UV灯电源系统;操作控制器350W;UV灯晶片台

基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；托盘 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；

活动范围：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 度

挤入补偿 空气轴承型

Z轴滑动 手动

真空泵 无油真空泵

掩膜台

掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取

均匀光束大小 4.25“ X 4.25“支持接近式曝光，各种接触式（真空接触、软接触、硬接触等）曝光

接触式曝光特征尺寸：0.35 um@深紫外DUV：0.5um@近紫外NUV;0.6um@紫外UV;接近式曝光特征尺寸：1um @ Gap为20 um;2um @ Gap为50 um;